Apreo 多功能超高分辨场发射扫描电镜性能参数

一、概述：

Apreo是FEI于2016年5月上市的全新多功能超高分辨能力的场发射扫描电子显微镜(FEG-SEM) ，对容易产生电荷积累和/或产生污染的纳米技术材料在纳米尺度进行细致的表征和分析，其最新亮点在于独特的末级混合透镜 (Compound final lens) 技术能对任何样品无论在倾斜状态或样品本身形貌高低起伏下实现1kV低电压下1.0nm的超高分辨成像。

二、Apreo的优势：

1、独特的末级混合透镜 (Compound final lens) 技术（静电透镜+磁浸没透镜） 可针对任何样品无论在倾斜状态或样品本身形貌高低起伏下实现1kV低电压下0.8nm的超高分辨成像。

2、最有用和有效的背散射电子探测技术（BSE energy   filtering）始终保证获得最好的材料反差，即使是易受电子束损伤的样品需要采用低电压和低束流 (pA级) 进行任何角度的电子束辐照和用TV扫描成像，同样可以得到出色的背散射反差。

3、独特的镜筒内三探测器系统（选购）可灵活控制和调整以获得最佳衬度或信号强

度。

4、大束流和小束斑性能提供了出众的分析平台设计。样品舱接口可支持3个EDS检

测器，共面EDS/EBSD/TKD探测器，低真空模式分析附件，(Cryo)CL，拉曼，EBIC等等。

5、全新镜筒设计使电子枪安装和维护更为简单方便；镜筒合轴和光阑选择全部是自动调整；很容易进行束流控制和光阑角度优化调整以保证获得高分辨图像；真正实现对强磁材料无需进行消磁就可以进行高分辨成像。

6、高达400nA的大束流（目前是所有场发射扫描电镜中最大的设计）使分析效率更加提升，功能扩展性更强。

7、大样品室和样品台设计。

8、可选配低真空功能来应对各种不导电样品，压力可达500Pa。

电子光学系统

超高分辨场发射扫描电镜镜筒：

高稳定度肖特基场发射电子枪 (电子枪真空度：10-8Pa)

末级混合透镜：静电透镜+磁浸没透镜

电子枪书面寿命保证12个月

简单的枪体安装和维护 – 全自动烘烤、全自动启动、无需机械对中调整

自加热式光阑确保光阑清洁、免更换，节约维护成本

连续束流控制和光阑角度优化调整

两级扫描偏转线圈保证精确大视野成像

60°锥度物镜几何设计确保大角度倾斜

束流范围：1 pA – 400 nA

着陆电压范围：20 eV – 30 keV*

加速电压范围：200 V – 30 kV

样品台减速模式偏压：-4000V ~ +600V

预设用户指导和镜筒条件文件

电子束分辨率

高真空成像, 最佳工作距离，磁浸没透镜模式*(Apreo S)

0.8 nm@ 30kV (STEM*-选项)

-    0.7 nm @ 15 kV (SE)

1.0 nm @ 1 kV (SE) – 普通SEM模式 (非电子束减速BD模式)

0.8 nm @ 1 kV (SE) – BD模式, T3检测器*（选项）

0.9 nm @ 0.5kV (SE) - BD模式, T3检测器*（选项）

1.8 nm @ 0.1kV (SE) – BD模式, T3检测器*（选项）

高真空成像, 最佳工作距离，静电透镜模式 (Apreo C)

0.8 nm@ 30kV (STEM*-选项)

-    1.0 nm @ 15 kV (SE)

1.3 nm @ 1 kV (SE) – 普通SEM模式 (非减速电压模式)

1.0 nm @ 1 kV (SE) – 减速电压模式*

低真空成像，最佳工作距离，静电透镜模式*（选项）

-    1.0 - 1.2 nm @ 15 kV (SE)

-    1.8 nm @ 3 kV (SE)

电子束其它参数

最大水平视场宽度: 3.0 mm @10mm WD(在29x 最小放大倍数下)

放大倍率：x6 – x 2,300,000（宝丽来模式）

标准导航蒙太奇功能可实现更大视野（普通视野1倍以上）

样品室

舱内宽度: 340 mm

分析工作距离: 10 mm

12个接口

EDS接受角: 35度

可同时安装3个EDS探测器，其中2个180°

可共面安装EDS/EBSD

样品台及样品

探测器系统

Apreo可同时检测和显示4幅不同信号模式图像和混合信号图像：

三探头系统 (极靴内 in-lens 和 镜筒内 in-column)

T1 分割型(Segmented) 低位极靴内探测器

T2 高位极靴内探测器

T3 镜筒内探测器* (选项)

E-T二次电子探测器

样品室红外CCD探测器 IR-CCD

Nav-CamTM 光学导航相机探测器 (6百万像素，160x105视野尺寸，数字变焦)

高灵敏度低电压取向可抽拉式背散射探测器 (DBS)* (选项)

可伸缩式STEM 3+扫描透射探测器(BF/DF/HADF/ HAADF)* (选项)

低真空用（500Pa）二次电子探测器* (选项)

取向型气体分析探测器 (GAD)* (选项)

真空系统

完全无油真空系统

1 x 220 L/s涡轮分子泵(TMP)

1 x PVP-旋片式干泵

2 x 离子泵(IGP)

样品室真空度(高真空模式) < 6.3 x 10-6 mBar (72小时抽真空后)

抽真空时间：< 3.5分钟

样品室真空度(低真空模式) 10 ~ 500 Pa*（选购）

样品架

标准多用途样品架, 直接安装在样品台上, 可放置18个Ø12 mm平面标准样品座、

3个倾斜样品座、截面样品座 和 选购的2个38°及90°倾斜的固定铜网横条座

（PS:标准样品台照片）

固定6个S/TEM样品铜网的横条座* (选项)

各种芯片及定制的样品台*, 可按需要可定制 (选项)

标准支持软件

“Beam per view”（每束一窗口）用户界面系统，可同时显示四幅实时图像

图像登陆

蒙太奇导航系统

图像分析软件

Undo/Redo功能

基本操作/应用 用户指南

图像处理器

电子束驻留时间: 25ns -25 ms/像素

图像扫描: 最高达6144 x 4096像素分辨率

图像文件格式: TIFF (8, 16 或24-bit), BMP 或 JPEG，标准

单窗口或四窗口图像显示

SmartSCAN™智能扫描 (256帧平均或积分, 线积分或平均, 隔行扫描)

DCFI (漂移补偿帧积分)

系统控制

基于Windows 7的 64位图形用户界面，键盘，光电鼠标

“每束一窗口”图形用户界面，最多四幅实时图像同时显示

24英寸液晶显示器，显示分辨率 1920 x 1200 (可选配第二台显示器)

摇杆 Joystick* (选项)

多功能控制面板* (选项)

可选配附件*

样品/样品室清洁： FEI CryoCleaner 或 FEI集成式等离子清洗机

分析附件： EDS, EBSD, WDS, CL，Raman（拉曼光谱）

QuickLoader™: 用于快速更换样品的气锁

样品导航: Nav-Cam™ 或 关联导航 或 MAPS编辑和拼接

FEI气体注入系统: 最多2个 (其他附件可能限制可装GIS的数量), 用于以下材料的电子束诱导沉积 :

铂沉积

钨沉积

碳沉积

微操纵手

冷冻样品台

测电位电子探针

电子束束闸器

可选配的软件*

MAPS软件 – 全自动大尺寸图像采集和相关编辑工作功能

iFast软件 – 高级全自动功能

基于Web的数据库软件

高级图像分析软件

支持文件

在线用户指南

操作指导手册

在线帮助

RAPID （远程诊断软件）

免费连接到FEI用户群在线资源库

保修和培训

标准1年保修期

维修合同*（选项）

操作和应用培训合同*（选项）

主要消耗品（部分）

肖特基电子枪灯丝

安装要求 [具体数据请参考预安装指导书]

电源

-    电压 100 - 240 V (-6%, +10%)

-    频率 50 或60 Hz (± 1%)

主机功耗: < 3.0 kVA

接地：< 0.1Ω（欧洲标准），< 1Ω（中国标准）

环境

-    温度 20°C ± 3°C

相对湿度低于 80%

残余交流磁场 < 40 nT非同步频率; < 100 nT同步频率， 20ms(50Hz)或17ms(60Hz)

最小门尺寸: 0.9 m宽 x 1.9m高

重量: 镜筒主机 980 kg

氮气

干燥无油压缩空气：4 - 6 bar

循环冷却水机

噪音: < 68 dBC

震动需要测试

减震台可选

备注： *部分为选项

电脑配置：(规格会改变)

处理器 Intel Xeon W3520 Processor/ 2.66 GHz 8 MB cache

内存 12GB

硬盘 500GB

16x DVD+/-RW drive

Integrated FireWire and USB ports 和 1 Gb LAN network card

24”LCD, 1920 x 1200 pixels 显示像素

Field of Navi-CAM: 160 x 105mm